国际首创！浙大杭州科创中心成功制备2英寸氧化镓晶圆

分类：技术 | 时间：2022-5-7 09:39 | 阅读：1167

摘要: 面对传统技术的发展瓶颈，近日，浙江大学杭州国际科创中心首席科学家杨德仁院士带领团队发明了全新的熔体法技术路线来研制氧化镓体块单晶以及晶圆，目前已经成功制备直径2英寸（50.8 mm）的氧化镓晶圆。 ...

面对传统技术的发展瓶颈，近日，浙江大学杭州国际科创中心（简称科创中心）给出了新方案。在首席科学家杨德仁院士的带领下，科创中心先进半导体研究院发明了全新的熔体法技术路线来研制氧化镓体块单晶以及晶圆，目前已经成功制备直径2英寸（50.8 mm）的氧化镓晶圆，使用这种具有完全自主知识产权技术生长的2英寸氧化镓晶圆在国际尚属首次。