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台积电、联电回应水情吃紧:生产运营不受影响

分类:行业 | 时间:2023-3-21 14:15 | 阅读:313

摘要: 据悉,半导体产业是名副其实的“水老虎”,在制造过程中需要依赖大量的水源,尤其是半导体制程需要使用超纯水(Ultrapure water),而制作超纯水的过程要使用几倍的自来水,用水量相当惊人。 ...
据台媒经济日报报道,中国台湾新竹以南水情吃紧,台积电、联电对此进行了回应。

台积电表示,公司就不同的限水阶段备有应对计划,同时携手政府、私人单位就节水与开发水资源等范畴共同努力;为了减量供水橙灯,南科厂区已通过自主节水(降低系统排水损失、厂务系统用水减量、增加厂务废水回收、提升系统产水量等)及再生水替代措施,达成南科管理局用水总量管制目标,借由全面的营运持续管理政策及企业风险管理系统,不预期水情对营运有实质性影响。

联电表示,过去几年在多元水源方面的布局做很多努力,参与政府台南两个再生水计划,再生水用量大幅增加,同时制程技术精进,强化生产效率。依目前情况来看,限水15-20%,仍不需要出动水车载水,生产运营并不受影响。

据悉,半导体产业是名副其实的“水老虎”,在制造过程中需要依赖大量的水源,尤其是半导体制程需要使用超纯水(Ultrapure water),而制作超纯水的过程要使用几倍的自来水,用水量相当惊人。且为了提高12英寸晶圆厂的制程良率,以往是每25片晶圆集中清洗,后来就改成一片片单独清洗,大幅提高良率。

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