美光与默克合作开发可持续的半导体气体

分类：行业 | 时间：2022-8-5 14:38 | 阅读：96

摘要: 美光科技与默克4日宣布，双方将合作开发全球变暖指数较低的半导体气体。美光正在验证一种蚀刻气体的性能，该气体可替代具有高全球变暖指数的现有材料。默克研发团队开发了该蚀刻气体。 ...

美光科技与默克4日宣布，双方将合作开发全球变暖指数较低的半导体气体。美光正在验证一种蚀刻气体的性能，该气体可替代具有高全球变暖指数的现有材料。默克研发团队开发了该蚀刻气体。

默克和美光表示，目标是在未来半导体生产中永久引进可持续的气体解决方案。两家公司在干式蚀刻和腔体清洗中使用后，还合作研究替代全球变暖指数高的半导体气体材料。

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