超声波液位传感器在涂胶显影机进液系统中的应用

正文摘要:

在半导体的生产过程中，涂胶显影机应用于半导体制造的光刻工艺中，是感光剂(photoresist)的涂布(coat)和显影(develop)的设备。涂胶显影机组有多个系统模块组成，其中化学品柜进液系统是涂胶显影的重要组成部分，目前 ...